化学课只上了四分之一，化学老师依旧在飞速地讲着课的内容。</p>
李泓泰抬了一下头，才发现二氧化硅的性质已经讲完了，现在课件上的内容是“热氧化工艺”。</p>
“硅的热氧化法，也是指硅与氧或水汽等氧化剂在高温下经化学反应生成二氧化硅。同时高压氧化也属于热氧化法。”</p>
李泓泰看到这样的一段内容，他已经知道下面化学老师要讲什么了，“大概率是干氧氧化法和水气氧化法。”</p>
“而干氧氧化法的生长机理是高温下的氧分子与硅片表面的硅原子反应，生成起始层。”</p>
“水气氧化法的生长机理是高温水气与硅片接触时，水分子与硅片表面的硅原子反应生成起始层。”</p>
这些知识点对李泓泰来说真的是已经熟背于心，他可以把这些内容脱口而出。</p>
除此之外，李泓泰还知道关于热氧化工艺的另外一个知识点，那便是“湿氧氧化法”。</p>
“湿氧氧化法与干氧氧化不同之处是将干氧通入炉前，先通过加热的高纯法离子水，使氧气中携带一定量的水汽。因此在湿氧氧化中，既有氧的氧化作用，又有水的氧化作用。”</p>
而台上的化学老师讲的内容也和李泓泰猜的一样。在讲完干氧氧化法和水气氧化法后，老师也把李泓泰知道的课外知识——湿氧氧化法讲给了同学们听。</p>
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